詳細(xì)說明
>> 技術(shù)參數(shù)
◆ 外形尺寸(不包括報(bào)警燈)
1650(W)×1750(D)×2450(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約1200升)
1003(W)×1270(D)×915(H)mm
◆ 電極面積 (水冷垂直電極)
1117.6(D)×609.6(H)mm ，13層
◆ 等離子發(fā)生器(美國(guó)AE)
頻率40KHZ,功率0-10KW連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸電腦+PLC全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制)
英國(guó)愛德華(ULVAC)爪式干泵 GV160 (160m3/h)
英國(guó)愛德華羅茨泵 EH1000(280L/S)
臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國(guó)英福康高精度真空計(jì)、傳感器
◆ 充氣系統(tǒng)
美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(五路氣體配制)
美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件，德國(guó)雙級(jí)減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
