三甲基氯硅烷（trimethyl chlorosilane）為無色透明液體，有刺激臭味，在空氣中暴露，易和潮氣反應產(chǎn)生***。硅-鹵鍵化合物。在工業(yè)上，已形成規(guī)模生產(chǎn)能力，一般采用氯甲烷和硅粉在催化劑作用下直接合成，經(jīng)分餾得到純品。