MLCT
氮化硅探針
用于接觸式、輕敲式或力的測(cè)量，高靈敏度，彈性系數(shù)極低。
用于接觸式、輕敲式或力的測(cè)量，高靈敏度，彈性系數(shù)極低。
每個(gè)基片有6個(gè)懸臂，彈性系數(shù)為0.01 - 0.50 N/m
包裝數(shù)量：10根/盒
針尖參數(shù)
幾何：各向異性
針尖高度 (h): 2.5 - 8.0µm
正面角 (FA): 15 ± 2.5°
背面角(BA): 25 ± 2.5°
側(cè)面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
針尖曲率半徑(Nom): 20nm
針尖曲率半徑(Max): 60nm
針尖縮進(jìn)(TSB)(Nom): 4µm
針尖縮進(jìn)范圍(TSB)(RNG): 0 - 7µm