Wyko NT9300光學(xué)輪廓儀是最新系列中的一款具有自動化功能的光學(xué)輪廓儀,可實現(xiàn)最便捷的高速表面形貌測量。該系統(tǒng)的測量設(shè)置簡單易學(xué),即可滿足最基本的檢測,也可根據(jù)客戶制定的產(chǎn)品合格/不合格判據(jù)數(shù)據(jù)庫并利用其全自動XYZ樣品臺進(jìn)行量測。
NT9300采用Veeco最新的第九代光學(xué)輪廓儀傳感技術(shù),同時可針對大尺寸樣品、縫合的及不規(guī)則的樣品實現(xiàn)大范圍掃描(垂直方向最高可達(dá)10mm)。采用Veeco已申請專利的雙-LED光源技術(shù),系統(tǒng)可滿足任何測量范圍的光學(xué)需求。電動化XYZ樣品臺及獨特的基于頭部的俯仰/傾斜功能使任何使用水平的操作者都可以很容易地進(jìn)行樣品安裝,調(diào)試。
行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件提供200多種分析工具,包括自動序列測量和數(shù)據(jù)記錄功能。可選的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件(針對100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實現(xiàn)自動化,MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。